測試參數

Ra, Rz, RS, RSm, Rp, Rv, Rq, Rt, Rmax, D, Rmr等

粗糙度測量范圍

Ra 0.01 - 10 μm

取樣長度

L: 0.08 ,0.25, 0.8, 2.5 mm

測量長度

Ln: 1L, 2L, 3L, 4L, 5L可任選 Selectable

評定長度

0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm

分辨率

0.001 μm

示值誤差

± 5 %

測量工件最大高度

300mm

觸針

標準型 高度<8mm 小孔型

觸針半徑

2um,測力: 4 mN

移動速度

0.5 mm/sec

線性區

垂向Vertical 600 um

軸向測量范圍

40 mm

濾波器

高斯濾波器，ISO 2CR濾波器

小孔測量范圍

≥ф5 mm

可調工作臺

旋轉角度：±10度

擺動范圍：±10度

X-Y移動范圍： 15 mm

軸承內外圈尺寸

內圈最大外徑：280mm

外圈最小孔徑： 12mm

厚度：≤160 mm